抛光机操作的关键是要设法得到大的抛光速率,以便尽快除去磨光时产生的损伤层。同时也要使抛光损伤层不会影响终观察到的织,即不会造成有非常大的抛光速率来去除磨光的损伤层,但抛光损伤层也较深;后者要求使用细的材料,使抛光损伤层较浅,但抛光速率低。
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