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玻璃配置：
非标设备
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颜色：
1
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品牌：
威固特
产品描述
简介：
半导体器件生产中片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括农业生产体系物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。农业生产体系污染包括光刻胶、农业生产体系溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括、尘埃、细菌、微生物、农业生产体系胶体纤维等，会导致各种缺陷。将超声波清洗机应用到玻璃硅片生产中，不仅环保还提高产品质量。
设备特点：
1.采用 新流行环保水基清洗工艺.该设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求；
2.全封闭式结构，运行部件设计防止污染；
3.清洗机框架和烘干炉内均采用正压送风形式, 保持运行时的风度始终外溢；
4.清洗区域与维护区域隔离开，确保润滑油脂及运动磨损不会对清洗的产品产生二次污染；
5.有效保证工作室长期处于洁净状态,从而保证产品的洁净要求；
6.工位移载结构能 大限度地减少辅助运行时间，保正工艺参数实施的准确性。
工作机理：
1.欲清洗工件放入料框内专项使用固定夹内，由人工将料框放上入料口，等工位机械手自动将料框送入清洗机本体，上下提升机构依照PLC指定的程序将料框搬送到相应高度位置；
2.完成对工件的清洗、喷淋、漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口，运送到卸料台出料；
3.等工位机械手由气缸横向驱动，直线滑轨导向；
4.上下提升由马达驱动，直线导轴导向；慢提拉提升机构由变频马达驱动，直线滑块导向；
5.上下料由上下提升机构单独完成；
6.采用触摸屏操作系统,有手动和自动切换开关及有关操作按钮，能对整个运行过程实行控制。
应用范围：
适用于硅片、水晶、光学玻璃、蓝宝石、陶瓷等清除被加工物表面的油污、研磨切削液等。
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