产品描述
激光器特点
l 长期工作稳定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模块可现场更换
l TEM00基模输出（M2<1.3）
l 体积小，结构紧凑
l 重复频率30kHz-100kHz可调
应用范围
l 薄膜蚀刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圆切割
l 科学研究等
l 激光标记
技术参数
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型号 |
RM355Q-3W |
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波长 |
355nm |
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功率 |
3W@30KHz |
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单脉冲能量 |
100μJ@30kHz |
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频率 |
30~100kHz |
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脉宽 |
<20ns@30KHz |
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光斑模式 |
TEM00 (M2<1.3) |
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光束直径 |
0.5±0.1mm |
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功率稳定性 |
<3% RMS over 8 hours |
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脉冲稳定性 |
<3% RMS over 10mins |
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光点稳定性 |
<50μrad |
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光束发散角 |
<2mrad (full angle) |
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光斑圆度 |
>90% |
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控制方式 |
RS232, Gate, Trigger |
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制冷方式 |
Air-cooling |
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偏振方向 |
Horizontal |
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偏振比 |
>100:1 |
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环境温度 |
15°C ~ 35°C |
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相对湿度 |
10% ~ 80%（无结露） |
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预热时间 |
<15mins |
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工作电压 |
90V ~ 260V |
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