西尼特(北京)科技有限公司

已认证 天眼查

主营:马弗炉,管式炉气氛炉,真空管式气氛炉,气相沉积炉,真空烧结炉,升降炉

铝道网  >  铝设备 >  熔铝设备  > 熔铝炉  > 厂家供应井式气相沉积炉

厂家供应井式气相沉积炉

价格

电议 元/台

  • 单价:电议
  • 最小起订量: 1
  • 所在地:北京 北京
  • 供货总量: 50
  • 发布时间:2014-07-15

联系方式

产品描述

※产品用途:

    CNT生产的CVD(真空化学气相沉积炉)是一种用于在基片上生成高质量TiC、SiC、SiO2、Si3N4 专用设备。淀积温度能够较高 (100~1800℃可调 ) ,它已成为机械制造工业、冶金工业、光学工业、半导体工业等领域微电子和光电子领域科研和生产不可缺少的设备。
    ※产品结构:

CNT公司CVD设备主要由全真空专用不锈钢腔体,分子泵高真空系统,电源,生长机体载体及温控系统,独立排气和生长压力调节系统,冷却循环水辅助设备等组成。整机结构紧凑、操作方便、抽真空速度快。此设备控制系统采用逻辑按钮手动控制与工控机自控控制可选。实现真空抽气和镀膜工艺一体化功能。此设备可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si:H、多晶Si、SiC、W、TiSi、GaAs、GaSb等介电、半导体及金属膜等。

参数名称

型                 号

CVD418

CVD818

CVD1218

CVD1618

CVD2018

额定功率

KW

 21

30

45

60

75

额定电压

V

380

380

380

380

380

温度

1800

1800

1800

1800

1800

工作温度

&le1700

&le1700

&le1700

&le1700

&le1700

真空度

 

6.67pa

6.67pa

6.67pa

6.67pa

6.67pa

基片台尺寸

直径

4英寸

8英寸

12英寸

16英寸

20英寸

基片台转速

 

020RPM

020RPM

020RPM

020RPM

020RPM

保温材料

V

石墨

石墨

石墨

石墨

石墨

加热方式

 

 石墨 

石墨 

石墨 

石墨 

石墨 

升温速率

℃min

&le25

&le25

&le25

&le25

&le25

控温精度

±1

±1

±1

±1

±1

标配

  1、 三路质量流量计 ,氮气、氢气、甲烷、氩气                                   

 2、气路报警系统(氢气和甲烷)、超温报警、缺水报警

选配

1、尾气处理设备

2、气瓶及减压阀

 

3、冷却系统

 

相关推荐

*发送对象:
*信息标题:
*留言内容:
*验证码: 换一张
联系人:
联系电话:
 

其他供应

相关推荐

免责申明:以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,铝道网对此不承担任何保证责任。为保障您的利益,我们建议您选择铝道网的 铝业通会员。友情提醒:请新老用户加强对信息真实性及其发布者身份与资质的甄别,避免引起不必要

风险提示:创业有风险,投资需谨慎。打击招商诈骗,创建诚信平台。维权举报:0571-89937588。

联系方式

丁经理经理

在线联系

手 机:点击查看

电 话:点击查看

传 真:点击查看

地 址:

供应产品分类

新品上市

  • 1