气体流量计 气体质量流量计

编号

项目

S48 300/HMT

1

流量规格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%-100%F.S.

6

流量测量范围

0-100%F.S.

7

响应时间

≤ 1 sec

8

工作环境温度

5-50℃

9

精度保证温度

15-35℃

10

精度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)

11

线性精度

±0.5%F.S.

12

重复性

±0.2%F.S.

13

工作压差

-5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)

14

耐压

3MPa(G)

15

泄漏率

＜1×10-8Pa·m3/s(He)

16

接触气体材料

316L，Viton® 氟橡胶，PTFE

17

管路接头

Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

18

供电电源

±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA

19

设定信号

数字：RS485/RS232

模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ

20

流量输出信号

数字：RS485/RS232

模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA

21

通讯接口

数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，

Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15

22

重量(kg)

0.9