气体流量计厂家，质量流量计价格

质量流量控制器（Mass Flow Cooller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）,用于对气体的质量流量进行精密测量。

S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点：

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行计量。

S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：

半导体制造行业的气体流量控制；

分析仪器设备的气体计量与控制；

各种形式的真空镀膜设备；

环境检测与分析设备；

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

特种材料表面处理装置与燃烧控制；

混气配气系统和泄露探测系统等。

 

S49系列质量流量控制器和质量流量计型号

S49 31 系列质量流量控制器，S49为质量流量控制器和质量流量计产品，31/MT为本公司此产品设计序列号。

其中：S49 31/MT 系列为质量流量控制器。

S49 31A/MT 系列为质量流量计。

质量流量计用于气体质量流量测量计量；质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体流量的功能。

 

S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标

编号	项目	S49 31/MT	S49 31A/MT
1	流量规格	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	准确度	±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S)
5	线性	±1.0%F.S，±1.5%F.S
6	重复精度	±0.2%F.S
7	响应时间	(3～4)s
8	工作压差范围	(0.05～0.3)MPa;           (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min
9	耐压	3MPa;           10MPa
10	工作环境温度	5℃～45℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®，    EPDM，  或其他由用户指定
13	漏率	1×10-9atm.mL/s (He)
14	接头	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm  或其他
15	输入输出信号	0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16	供电电源	±15V（±2%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17	外形尺寸mm	134×134×38
18	重量kg	1.0