晶圆光刻胶去除等离子清洗机

PL-DW60真空等离子清洗机：等离子通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体、液体、气体，它们是比较常见的，就存在于我们周围。等离子在地球上只存在于某种特定环境，如闪电、极光。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）混合组成。离子体能够导电。 

等离子技术的应用 

通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面处理系统现正应用于LCD，LED，IC，PCB，SMT，BGA，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。等离子清洗过的IC可显著提高焊线强度，减少电路故障的可能性。残余的感光阻剂、树脂，溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区，短时间内就能清除。PCB制造商用等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。对许多产品，不论它们是应用于工业。电子、航空、健康等行业，可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，等离子体都有潜能改进粘着力，提高终产品质量。等离子体改变任何表面的能力是安全的、环保的、经济的。它是许多行业面临的挑战问题的可行的解决方案。 

等离子处理的原理 

给一组电极通上射频电源，电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体，活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到表面处理的目的。

在整个等离子处理过程中，影响等离子处理效果的要素包括过程温度、射频功率、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等等  PL—DW60等离子清洗机

•                                不锈钢舱体：350mm×350mm×400mm

•                                容量：60 升

•                                处理过程：分手动与自动控制

•                                功率：500W

•                                电源：AC380V

•                                射频电源：主频40KHz

•                                外形型号

 

立式

  宽度： 600mm（19”）

 高度： 2000mm

 深度： 800mm

台式 宽度： 600mm（19”）

 高度： 800mm

 深度： 650mm

舱体：不锈钢

舱门：铝合金

 

舱体背面为5个通径40和1个通径为16的法兰连接器。用于接入处理气体和真空泵等辅助设施。