半导体设备专项使用罗茨真空泵

东莞市普诺克真空科技公司拥有一支集研发、生产、销售、售后为一体的强大队伍，优质的半导体设备专项使用罗茨真空泵产品、专业的真空知识、在真空系统建造方面的丰富经验以及快速的服务，为客户提供理想、完善的真空解决方案并赢得了高度赞誉，需要了解更多罗茨真空泵信息的朋友请登录。

罗茨真空泵产品特点：

1.马达多样性

每一台普诺克罗茨真空泵的马达都可采用风冷或水冷，以保证客户的正常使用

泵整体采用铝合金或铸铁材料，实现泵散热快、耐腐蚀性强等优点

2.结构简单 维护方便

转子型线通过精心设计产用圆弧转子方式使泵的设计更加紧凑

抽气效果更加突出，相比同级别其它厂家抽速有很大提高

维护起来也很方便，维护费用非常低

3.高清洁真空

罗茨泵泵腔内没有任何能与空气发生化学反应的介质

确保被抽气体不受二次污染,实现高清洁真空

4. 助力泵

罗茨泵也称助力泵，可以与螺杆泵、放片泵、水环泵、滑阀泵

分子泵等泵组成泵组，大大提高抽气速率和真空度

正常情况下可以高10倍以上的真空度！

安装尺寸图

半导体设备专项使用罗茨真空泵产品参数：

型号：PNK MR 0600T

额定流量（50Hz）：600 m³/h

抽气速率：166.7 l/s

较限压力：≤0.05 Pa

大允许压差：≥1.2x10⁴ mbar（≥1200000 Pa）

马达频率：50 Hz

马达额定功率：3 Kw

连接口进气口：ISO100

连接口排气口：ISO80

转数（50HZ）：2900 PRM

重量：198 Kg

推荐前级泵：PNK SP 0100

产品曲线图

罗茨真空泵前级泵选择：

罗茨真空泵不能单独使用，必须配上前级泵组成机组，使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力，由于罗茨真空泵的压缩比是有限的，所以选择前级真空泵的抽速是重要的，罗茨真空泵的大压缩比是随排出压力而变化的，在高排出压力下，大压缩比多大3：1，而高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间（1 mbar=0.75Torr）可达50:1，甚至更高些。

因此，选择前级泵的抽速，要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时，压缩比K=600： 30=20得出K=20时大排出压力为30 mbar。

由此得出，当选用30升/秒前级泵时，在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的，但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵;假如真空室非常大，而且要求很快预抽，就要用非常大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有非常大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。

对罗茨真空泵机组的较限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对较限真空度要求较高（达1X10^-3Pa～1X10^-2 Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。较限真空度要求在（1X10^-2 Pa～1X10^-1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，较限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

半导体设备专项使用罗茨真空泵产品图片