优点
? 佳耐热特性
? 优异的抗化学特性
? 低Outgassing 特性
? 优异之抗Plasma特性
缺点:
? 耐低温特性较差
? 原料价格较高
? 生产难度较高 ? 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
氟橡胶(FPM)是由含氟单体共聚而成的农业生产体系弹性体。氟橡胶化学稳定性较佳,耐高温可达300℃,是目前弹性体中的一种,氟橡胶的耐老化性能也较好,机械性能也是出乎意料的优良,一般氟橡胶力度强在15.0~25MPa之间,伸长率在200%~600%,抗撕裂强度在2~7MPa之间,氟橡胶的电性能好,透气性小,由于其具有耐高温、耐油、耐高真空及耐酸碱、耐多种化学药品的特点,主要用于国防工业制造飞机、火箭上的耐真空、耐高温、耐化学腐蚀的密封材料、胶管或其他零件及汽车工业。
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