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XRF的定性分析是指：由于各种元素的原子结构不同，在光源的作用下都可以产生自己特征的光谱。如果一个样品经过激发摄谱在感光板上有几种元素的谱线出现，就证明该样品中有这几种元素。这样的分析方法就叫做光谱定性分析方法。

XRF用于定性分析方法有以下几种：

　1.比较光谱分析法：这种方法应用比较广泛，它包括标准试样比较法和铁谱比较法。标准样品比较法一般适用于单项定性分析及有限分析。铁谱比较法它不但可以做单项测定还便于做全分析。

　2.谱线波长测量法：XRF利用谱线波长测量法进行定性分析是先测出某一谱线的波长，再查表确定存在的元素，这种方法在日常分析中很少使用，一般只是在编制谱图或者做仲裁分析时才用。

   一般来讲XRF定性分析可以分析元素周期表上的70几个元素，但由于受到仪器和光源条件的限制有些元素如非金属及卤族元素等则需要在特殊的条件下才能测定,如真空条件下。XRF定性分析的特点是方法简单、速度快、需要样品量少并且固体、液体、粉末状的样品都可以进行的无损分析。对于大部份元素都有比较高的灵敏度。XRF定性分析可以分析试样中一个或几个指定元素，也可以全分析试样中所有可能存在的元素。根据灵敏线的强弱来判断它们在试样中的大致含量。XRF定性分析只能给出试样中存在元素、的粗略含量范围，如大量、少量，还是微量，要想得到元素的正确含量就必须做光谱定量分析。

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