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平面度测量仪厂家

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  • 供货总量: 1
  • 发布时间:2021-03-10

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产品描述

  SurfScan平面度测量仪,采用掠入射光干涉原理,专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于半导体行业(Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces),以及光学工程,激光工程等领域。

  产品特点:

  ◆ 非接触式平面度测量接触

  ◆ 高精密评估: <0.4?m

  ◆ 测量速度快: <3秒

  ◆ 可用于车间现场, 100%全检

  ◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)

  ◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测

  ◆ 表面自动识别系统, 或手动选择区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估

  ◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估

  ◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件

  ◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等

  平面度测量仪

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