主营:镀膜加工,镀膜原料,派瑞林镀膜,喷涂机,真空设备
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MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。MEMS传感器通常被分为以下7类:1、压