※产品用途:
CNT高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长,其它快速热处理工艺。
※产品结构:
1、采用进口碘钨灯管为发热元件,升温速度高达200℃/s;
2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维,内有进口氧化铝涂层,抗热冲击;
3、保护管采用高纯石英管 ,可冲入多种气体;
4、石英管两端采用不锈钢密封法兰,耐高温、耐腐蚀;
5、滑轨采用铝合金超静音滑道;
6、炉体采用双层空气隔热技术,配有自动冷却风扇,降低炉体外壳温度;
7、控制系统采用进口40段程序控温,控温精度±1℃,移相触发、可控硅控制;
8、选配无纸记录仪,记录、存储、显示当前或历史温度曲线,也可通过U盘转存入电脑。
9、选配西尼特智能温控软件,通过电脑进行全程监控和操作;
10、使用温度超过900℃请接冷却水,以免密封圈受损;
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