CCQ超真空气动插板阀 Pneumatic Ultra-high Vacuum Gate Valve
CCQ型气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向,控制执行气缸驱动阀板作上下运动,达到阀门的开启或关闭的目的。CCQ型气动超高真空插板阀用于接通或切断真空管路中的气流。CCQ型气动超高真空插板阀适用介质为纯净空气或非腐蚀性气体。CCQ型气动超高真空插板阀带反馈信号装置。
适用范围: 105~1.3x10-7Pa(DN≤200);105~6.7x10-7Pa(DN≥250)
阀门漏率: ≤6.7x10-8 Pa.L/S(DN≤200);≤1.3x10-7 Pa.L/S((DN≥250))
适用温度: -30~+150℃
开启压差: ≤2.7x103 Pa.
气源压力: 0.4-0.6MPa
安装状态:任意
电源电压:真空阀标准出厂:AC220V/50Hz,
特殊指定:AC110V,DC24V
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