供应气相沉积管式炉，真空炉管式炉

创新科技发展，专业的研发团队，十多年的研发经验，各大高等院校教授的指导，得到广大用户高等院校，***厂，科研单位，大型企业的一直认可。十多年来，不为公司利润，只为科学发展的理念，现研发出多种功能多种型号供您挑选。或按照你产品烧结工艺帮您挑选设计出您想要，适合您的各种高温炉，为您产品升级，为您产品保驾护航。让您产品永远处于全部优异地位。 产品简介：此款设备配有Plasma实现等离子增强，滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置，可准确的控制反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用，工艺重复性好，对于石墨烯生长工艺非常合适，也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。 主要功能和特点：   1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相； 2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量； 3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率； 4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。     滑轨管式炉技术参数         石英管尺寸 L1400mm  Φ（60、80、100） 加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 测温元件 K型热电偶 加热区长度 400mm   恒温区长度 200mm 工作温度 ≤1100℃ 控温模式 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶启动紧急信号功能 控温精度 ±1℃ 升温速率 ≤20℃/min 电功率 AC220V/50HZ/3KW 质量供气系统技术参数           外形尺寸 600x600x600mm 标准量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； 压力表测量范围 -0.1Mpa～0.15Mpa 较限压力 3MPa 针阀 316不锈钢 截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀 电功率 AC220V/50HZ/20W 响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 准确度 ±1.5% 线性 ±0.5～1.5% 重复精度 ±0.2% 接口 Φ6,1/4 真空系统技术参数           外型尺寸 600×600×600mm 工作电电压 220V±10%  50~60HZ 功率 400W 抽气速率 4L\s 较限真空 4X10-2Pa 实验真空度 1.0X10-1Pa 容油量 1.1L 进气口口径 KF25 排气口口径 KF25 转速 1450rpm 射频电源   信号频率 13.56 MHz±0.005% 功率输出范围 3W-300W   5W-500W可选 非常大反射功率 200W 射频输出接口 50 Ω, N-type, female 功率稳定度 ±0.1% 谐波分量 ≤-50dbc 供电电压 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ 整机效率 >=70% 功率因素 >=90% 冷却方式 强制风冷