SS-60系列台式扫描电镜
一、概述:
SS-60系列台式扫描电镜具有体型小巧,占用空间小;较大放大倍率是6万倍,放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;采用二次电子和背散电子双重探测器;宽泛的加速电压范围1~30KV,多档可调;通过选配EDS可进行元素成份分析;可选配CCD样品导航、Tilt(0~90)载物台。
SS-60系列台式扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护,有良好售后服务系统
一、技术参数
技术参数 |
|
分辨率 |
15nm (30kV,SE) |
放大倍率 |
20x~60,000x |
加速电压 |
1~30kV |
探测器 |
SE 探测器,可选配BSE探测器,EDS等 |
电子枪 |
预对中钨灯丝 |
透镜系统 |
聚光镜:2段式磁线圈透镜 |
载物台 |
3轴(X,Y,R,)X,Y轴 40mm / R轴 : 360° 可选5轴样品台:X:40mm, Y:40mm, Z:40mm, R:360°,T:0~90° |
图像偏移 |
X,Y轴图像偏移(±150μm) |
样品较大尺寸 |
高度35mm时较大直径80mm |
图像扫描 |
快速扫描:320*240 低速扫描:640*480 |
自动功能 |
自动启动、自动亮度对比度调节、自动初始化 |
图像存储格式 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
图片显示数据 |
放大倍率、探测器类型、加速电压、真空模式、比例尺、LOGO、日期和时间 |
真空方式 |
高真空模式,机械泵,分子泵,抽真空时间:3分钟以内 |
设备尺寸 |
460(W)*600(L)*600(H)mm |
运行环境 |
温度:15~30℃,湿度:≤70% 电源:单相220AC 1KW 50/60Hz |
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