中图仪器SuperViewW1光学轮廓检测仪器采用扩展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。
产品特点
参数测量:粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积,一网打尽;
环境噪声检测:实时监测,纳米波动,也无可藏匿;
双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石”也能安然无恙;
自动拼接:3轴光栅闭环反馈,让3D拼接“天衣无缝”;
双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动”。
产品性能
纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关
扫描帧速:50FPS/s
粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)
光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关
至大点数:1048576(标准)
台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ
光学轮廓检测仪器可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
SuperViewW1光学轮廓检测仪器参数
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
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