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光学轮廓检测仪器,三维形貌检测

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  • 所在地:广东 深圳
  • 供货总量: 100
  • 发布时间:2023-07-21

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产品描述

中图仪器SuperViewW1光学轮廓检测仪器采用扩展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。

中图仪器光学3d表面轮廓测量仪,让3D测量变得简单示例图1

 

中图仪器光学3d表面轮廓测量仪,让3D测量变得简单示例图2

 

产品特点

参数测量:粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积,一网打尽;

环境噪声检测:实时监测,纳米波动,也无可藏匿;

双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石”也能安然无恙;

自动拼接:3轴光栅闭环反馈,让3D拼接“天衣无缝”;

双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动”。

 

产品性能

纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关

扫描帧速:50FPS/s

粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)

光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关

至大点数:1048576(标准)

台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ

 

光学轮廓检测仪器可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

 

中图仪器光学3d表面轮廓测量仪,让3D测量变得简单示例图3

中图仪器光学3d表面轮廓测量仪,让3D测量变得简单示例图4

 

SuperViewW1光学轮廓检测仪器参数

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

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