VT6000激光共聚焦扫描显微镜

共聚焦显微镜在材料生产领域中，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内准确量测物体的三维数据。是一款用于对各种器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

 

中图仪器VT6000激光共聚焦扫描显微镜是以共聚焦技术为原理、结合Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

 

VT6000激光共聚焦扫描显微镜可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超加工行业及航空航天、科研院所等领域中，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

 

技术指标

型号		VT6100
行程范围	X	100mm
	Y	100mm
	Z	100mm
外形尺寸		520*380*600mm
仪器重量		50kg
测量原理		共聚焦光学系统
显微物镜		10×;20×;50×;100×
视场范围		120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量	重复性(1σ)	12nm
	精度	± (0.2 L/100) μm
	显示分辨率	0.5nm
宽度测量	重复性(1σ)	40nm
	精度	± 2%
	显示分辨率	1nm
XY位移平台	负载	10kg
	控制方式	电动
Z0轴扫描范围		10mm
物镜塔台		5孔电动
光源		白光LED

 

产品功能

1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；

2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；

3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；

4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

 

性能特色

1、高精度、高重复性

1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度；

2）隔震设计能够消减底面振动噪声，仪器在嘈杂的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。

2、操纵手柄

VT6000激光共聚焦扫描显微镜集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。

3、双重防撞保护措施

除软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。