稀土
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作為半導體製造設備內部的保護性塗層，半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁以原本狀態使用，則會發生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導體上之微
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