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稀土

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  • 氟氧化钇 氟化钇 氧化钇

    2 元 /KG

    氟氧化钇 氟化钇 氧化钇

    作為半導體製造設備內部的保護性塗層,半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件如,石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁以原本狀態使用,則會發生表面腐蝕而伴隨著生成粒子,其造成半導體上之微

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