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气锁室与风淋室、缓冲室、气闸室的功能性类似:都是通过内外气体的压强不同,来保证洁净区的环境,通常气锁室内外形成5pa10帕的压差,这种压差形式是用在洁净室,防止不洁区域的气流直接进入清洁区域;另外用在
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