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电子制造专项使用制氮、制氧
采用加压吸附常压解吸（hp）方法，流程为两塔。原料空气由压缩机加压后，经过空气预处理装置除去油、尘埃等固体杂质及水,并冷却至常温，经过处理后的压缩空气由进气阀进入装有分子筛的吸附塔，空气中的氮气、二氧化碳等被吸附，流出的气体即为高纯度的氧气，当吸附塔达到一定的饱和度后，进气阀关闭,冲洗阀打开，吸附
2011-03-16 /