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作為半導體製造設備內部的保護性塗層，半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以
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氟化钇 中文名称：氟化钇 分子式：F3Y 分子量：145.90 CAS：13709-49-4 包装：纸板桶包装25、50公斤/件
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