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高纯氟化物 氟化物玻璃可作为红外光纤的材料，以氟化物为基本成分的玻璃系统称为氟化物玻璃。它具有低折射率、低色散、易熔化的有点，氟化物玻璃
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作為半導體製造設備內部的保護性塗層，半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以
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