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作為半導體製造設備內部的保護性塗層,半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如,石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以
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氟化钾 英文名 Potassium fluoride 别 称 无水氟化钾、钾的氟化盐 化学式 KF 分子量 58.10 CAS
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