安徽贝意克设备技术有限公司

已认证 天眼查

Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主营:管式炉,箱式炉,CVD系统,PECVD系统,升华仪

铝道网  >  铝设备 >  铝行业其它辅助设备  > 其它  > 前端预热双温区滑轨PECVD

前端预热双温区滑轨PECVD

价格

面议

  • 单价:电议
  • 最小起订量: 1
  • 所在地:安徽 合肥
  • 供货总量: 999
  • 发布时间:2023-09-12

联系方式

产品描述

特点及用途:

前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。

前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C配有前端预加热炉,辅助固态源蒸发,后端为单温区加热炉 ,温度控制jing确,操作简便,对于气相沉积,二维材料,等离子处理生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C:

1.与传统CVD系统比较,生长温度更低。

 2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。

 3.设备特有的zhuan利技术使得整管辉光均匀等效,均匀生长

 1.加热系统

zui高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

?1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

加热长度

200 200mm

恒温长度

100 100mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V,50Hz

2、预热系统系统

zui高温度

400℃

炉膛有效尺寸

Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

?1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定

加热长度

100mm

加热原件

电阻丝

额定功率

800W

 

3、PE系统

功率输出范围

0W~500W

zui大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

 

4、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、500sccm

(可根据用户要求定制)

准确度

?1.5%F.S

线性

?1%F.S

重复精度

?0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

zui大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 

5、低真空机组

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

280V

抽气速率

32m?/h

较限真空

5X10-1Pa(空载冷态)

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连


相关推荐

相关推荐

免责申明:以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,铝道网对此不承担任何保证责任。为保障您的利益,我们建议您选择铝道网的 铝业通会员。友情提醒:请新老用户加强对信息真实性及其发布者身份与资质的甄别,避免引起不必要

风险提示:创业有风险,投资需谨慎。打击招商诈骗,创建诚信平台。维权举报:0571-89937588。

联系方式

销售经理

在线联系

手 机:点击查看

电 话:点击查看

传 真:点击查看

地 址:合肥市肥西县繁华大道工业区

留言咨询

供应产品分类

新品上市

闂傚倸鍊烽懗鑸电仚缂備胶绮崝娆忕暦閵忋倕鍐€妞ゆ劑鍎卞皬婵$偑鍊栫敮鎺斺偓姘煎墰閳ь剚鑹鹃ˇ浼村Φ閸曨垰绠抽柟瀛樼妇閸嬫捇鎳¢妶鍥╃厠闂佽法鍣﹂幏锟�|闂傚倸鍊烽懗鑸电仚缂備胶绮崝妤冨垝閺冨牊鍊婚柦妯侯槸閻庮參姊虹粙鎸庢拱闁糕晛鍟村鎼佸冀椤撶喓鍘繝鐢靛仜閻忔繈宕濆鑸电厸闁稿本顨呮禍锟�|闂傚倸鍊风粈浣虹礊婵犲倴缂氱憸鎴﹀Φ閹扮増鍊烽柟纰卞幗椤旀棃姊洪幖鐐插姶闁告挻鐟︾€靛ジ鎮╃紒妯煎弳闂佺粯娲栭崐鍦偓姘炬嫹|闂傚倸鍊搁崐鐑芥嚄閸洖纾婚柟鎹愬煐瀹曟煡鏌嶈閸撴稓妲愰幒鎳虫棃宕橀妸锔句邯闂備礁鎼懟顖炲箠濮椻偓瀵偊骞樼紒妯绘闂佽法鍣﹂幏锟�|闂傚倸鍊烽懗鍓佸垝椤栫偑鈧啴宕ㄧ€涙ê浜辨繝鐢靛Т閸婂绱撳鑸电厱妞ゆ劑鍊曢弸鏃堟煟濠靛棛鍩i柡宀嬬到铻栭柍褜鍓熼幃褎绻濋崶椋庣◤闂佽法鍣﹂幏锟�|闂傚倸鍊烽懗鍫曘€佹繝鍥ф槬闁哄稁鐏愰崫鍕ㄦ斀閻庯綆鍋勯崜銊╂⒑閸濆嫬鏆婇柛瀣尵缁辨帒螖閸愩劍鐏堥悗瑙勬礀缂嶅﹪銆侀弴銏℃櫜闁搞儮鏁╅敓锟�|闂傚倸鍊烽懗鑸电仚缂備胶绮崝妤冨垝閺冨牊鍊婚柦妯侯槸閻庮參姊虹粙璺ㄧ伇闁稿鐩幆灞轿旈崨顔惧幍闁诲孩绋掑玻璺ㄧ不濡眹浜滈煫鍥ㄦ⒐鐏忥附鎱ㄦ繝鍐┿仢妤犵偞鎹囬獮鎺楀箻閸ㄦ稒鏅梻鍌欑閹芥粍鍒婇幘顔肩闁跨噦鎷�|闂傚倸鍊峰ù鍥ㄧ珶閸喆浠堢紒瀣儥濞兼牕鈹戦悩宕囶暡闁绘帡绠栭弻鐔虹磼閵忕姵鐏堢紓浣哄缂嶄線寮婚悢琛″亾濞戞瑡缂氶柣顓烆儑缁辨帡顢氶崱妯侯伓|English

闂傚倸鍊搁崐鐑芥嚄閸洖纾婚柟鎹愬煐瀹曟煡鏌涢銈呮灁妞も晜鐓¢弻娑㈠箻濡も偓閹虫劙鏁嶉悙鐑樷拺閻犳亽鍔屽▍鎰版煙閸戙倖瀚� 闂傚倸鍊烽懗鍓佸垝椤栫偑鈧啴宕ㄧ€涙ê浜辨繝鐢靛Т閸婂绱撳鑸电厱妞ゆ劗濮撮崝姘辩磼閻橆喖鍔﹂柡灞界Х椤т線鏌涢幘璺烘瀻妞ゆ洩缍侀幃浠嬪川婵犲啯顏熼梻浣芥硶閸o箓骞忛敓锟� © 2002-2024 闂傚倸鍊风粈渚€骞栭锔藉亱婵犲﹤鐗嗙粈鍫熺箾閹存瑥鐏柛瀣枑閵囧嫰寮介妸褏鐓傜紒楣冪畺缁犳牠寮婚悢琛″亾閻㈢櫥鐟版毄闂備胶顢婇~澶娒洪悢鐓庣畺婵°倕鎳庨幑鑸点亜閹捐泛浠掔紒顔肩埣濮婅櫣鎷犻垾铏亶濠电偠灏欓崰鏍ь嚕椤愩埄鍚嬪璺侯儐濞呫垽姊虹捄銊ユ珢闁瑰嚖鎷�闂傚倸鍊搁崐鐑芥嚄閸洖纾婚柟鎹愬煐瀹曟煡鏌涢銈呮灁妞も晜鐓¢弻娑㈠箻濡も偓閹虫劙鏁嶉悙鐑樷拺閻犳亽鍔屽▍鎰版煙閸戙倖瀚�婵犵數濮烽弫鎼佸磻濞戙垺鍋ら柕濞炬杹閳ь剨绠撻弫鎾绘晸閿燂拷2-20060159