特点及用途:
前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。
前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C配有前端预加热炉,辅助固态源蒸发,后端为单温区加热炉 ,温度控制jing确,操作简便,对于气相沉积,二维材料,等离子处理生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
前端预热双温区滑轨PECVD BTF-1200C-II-SL-400C:
1.与传统CVD系统比较,生长温度更低。
2.使用滑轨炉实现快速升温和降温。
3.设备特有的zhuan利技术使得整管辉光均匀等效,均匀生长
1.加热系统
zui高温度 | 1200℃ |
使用温度 | ≤1100℃ |
炉膛有效尺寸 | Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制) |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ?1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温,PID参数自整定 |
加热长度 | 200 200mm |
恒温长度 | 100 100mm |
加热原件 | 电阻丝 |
供电电源 | 单相,220V,50Hz |
2、预热系统系统
zui高温度 | 400℃ |
炉膛有效尺寸 | Φ50mm(炉管直径可根据实际需要定制) |
炉膛材料 | 氧化铝、高温纤维制品 |
热电偶类型 | K型热电偶 |
控温精度 | ?1℃ |
控温方式 | 30段可编程控温,PID参数自整定 |
加热长度 | 100mm |
加热原件 | 电阻丝 |
额定功率 | 800W |
3、PE系统
功率输出范围 | 0W~500W |
zui大反射功率 | 100W |
射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率稳定度 | ≤5W |
谐波分量 | ≤-50dbc |
供电电压 | 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ |
整机效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷却方式 | 强制风冷 |
4、三路质子流量控制系统
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) | 50sccm,100sccm、500sccm (可根据用户要求定制) |
准确度 | ?1.5%F.S |
线性 | ?1%F.S |
重复精度 | ?0.2%F.S |
响应时间 | 气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5 MPa |
zui大压力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
显示 | 4位数字显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
压力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 | Φ6 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
5、低真空机组
空气相对湿度 | ≤85% |
工作环境 | 5℃~40℃ |
工作电电压 | 280V |
抽气速率 | 32m?/h |
较限真空 | 5X10-1Pa(空载冷态) |
工作压力范围 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 | 0.03MPa |
进气口口径 | KF40 |
排气口口径 | KF40 |
连接方式 | 采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
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