HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列_其它-伯东企业（上海）有限公司

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列

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发布时间：2023-12-20

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HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列
上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为较苛刻的真空环境而设计. HVA 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10^-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 较大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀较大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, ****进口

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列参数:

阀门材质:
- 阀门主体	304 不锈钢
- 焊接波纹管轴封	AM - 350
阀门密封方式
- 高真空	氟橡胶
真空:
- 压力范围	高真空 1x10^-9mbar
- 漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
- 差压关闭	2 bar (任意位置)
- 开启前较大压力	≤ 1 bar
烘烤温度（不含电磁阀）:
- 佛橡胶密封	150 °c, 可选配置较大 250 °c
- 驱动方式	手动 60 °c, 气动 60 °c
- 气体	80 psig (5.5 bar)
- 电磁	4.0 Watts
- 供电	120 VAC 50 /60 Hz
- 可选电压	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
- 位置指示器,较大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
公称通径: DN 50 - 200 mm

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图:

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