产品描述
电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
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名称 |
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC |
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化学式 |
C2H2Cl2 |
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相对分子量 |
96.94 |
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CAS号 |
156-60-5 |
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理化性质 |
无色略带气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸气与空气可形成性混合物。与能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。 |
主要用途:
高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）、光伏制造业所需的电子化学品。
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料
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Dielectrics PMD/IMD |
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB |
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Low K Dielectrics |
4MS ,OMCATS |
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High K Dielectrics |
TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor) |
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Metal Gate and Interconnect Metal |
TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor ) |
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Low-Temp Nitride/Oxide |
HCDS |
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Diffusion |
POCl3 |
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