产品描述
电子级六甲基二硅氮烷HMDS
别名：六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺六甲基二硅氮烷
无色透明液体。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下，与醇或酚反应，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。
中文名：六甲基二硅氮烷
英文名：Hexamethyldisilazane
分子式：C6H19NSi2
分子量：161.39
CAS号：999-97-3
EINECS号：213-668-5
用途：
主要用于晶圆制造过程中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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