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离子体化学气相沉积系统

价格

6999 元/台

  • 单价:电议
  • 最小起订量: 1
  • 所在地:江苏 苏州
  • 供货总量: 100
  • 发布时间:2017-05-02

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产品描述

等离子体增强化学气相沉积法。

设备介绍: 本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

产品简介:此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

主要组成系统及特点:

 

本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。

主要特点:

    1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

    2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

    3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

    4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

    5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy和无定型硅(a-Si:H)等。

 

 

开启式真空管式炉技术参数

 

 

 

 

石英管尺寸

L1400mm  *(根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。)

加热元件

掺钼铁铬铝合金电阻丝

测温元件

K型热电偶

加热区长度

400mm  

恒温区长度

200mm

工作温度

≤1100℃

控温模式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶启动紧急信号功能

控温精度

±1℃

升温速率

≤20℃/min

电功率

AC220V/50HZ/3KW

质量供气系统技术参数(根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。)

 

 

 

 

 

外形尺寸

600x600x600mm

标准量程

50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2);

数显压力表测量范围

-0.1Mpa~0.15Mpa

较限压力

3MPa

针阀

316不锈钢

截止阀

Φ6mm 316不锈钢针阀

电功率

AC220V/50HZ/20W

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

接口

Φ6,1/4

真空系统技术参数(根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(较限真空0.1Pa),GZK10-3(较限真空0.001Pa),以及进口高真空机组(较限真空0.0001Pa)供选择。)

 

 

 

 

 

外型尺寸

600×600×600mm

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

抽气速率

4L\s

较限真空

4X10-2Pa

实验真空度

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

射频电源(根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或更大功率的射频电源供选择)

 

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

5-300W   5W-500W可选

非常大反射功率

200W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷


 

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闂傚倸鍊搁崐鎼佸磹閹间礁纾归柟闂寸绾惧綊鏌i幋锝呅撻柛銈呭閺屾盯顢曢敐鍡欘槬缂佺偓鍎抽…鐑藉蓟閻旂厧绠查柟閭﹀墰閸橆偊鎮楃憴鍕闁绘搫绻濆璇测槈閵忊晜鏅濋梺闈涚墕閹冲繘鎮樻担鍓叉富闁靛牆鍊瑰▍鍡涙煟閹垮嫮绡€鐎殿喛顕ч埥澶愬閻樻鍟嬫繝寰锋澘鈧劙宕戦幘缁樼厵闁惧浚鍋勬慨宥夋煛娴e摜效闁诡喗鐟╅幃婊兾熼柨瀣伖闂備浇宕垫慨鍨娴犲绀夐悘鐐缎掗弸宥夋煙閹殿喖顣奸柣鎾寸懇閺屾盯骞嬪▎蹇婂亾閺嶎偀鍋撳鐐 闂傚倸鍊搁崐鎼佸磹閹间礁纾归柣鎴eГ閸ゅ嫰鏌涢幘鑼槮闁搞劍绻冮妵鍕冀椤愵澀鏉梺閫炲苯澧柛鐔告綑閻g兘濡歌閸嬫挸鈽夊▍顓т簼缁傚秵娼忛妸褏鐦堥梺姹囧灲濞佳冪摥闂備胶枪閿曘倝顢氶鐘愁潟闁圭偓鍓氬ḿ鈺呮煠閸濄儲鏆╅柛妯哄船椤啴濡堕崱妤€顫庢繝娈垮枟閹稿啿鐣峰┑鍡╂僵閺夊牃鏅濋敍婊堟⒑缂佹﹫渚涢柛鐘崇墵瀹曟繈鏁冮崒娑氬幐闁诲繒鍋熼弲顐㈡毄婵$偑浼囬崒婊呯崲闂佸搫鏈惄顖炵嵁濡吋宕夐柣鎴炨缚閳ь剝顕ч—鍐Χ閸℃ḿ鈹涚紓鍌氱С缁舵岸鐛崘鈺冾浄閻庯綆浜滅粣娑欑節閻㈤潧孝闁哥噥鍨堕、鏃堟偄閸忓皷鎷绘繛杈剧秬婵倗娑甸崼鏇熺厱闁挎繂绻掗悾鍨殽閻愯尙绠婚柡浣规崌閺佹捇鏁撻敓锟� © 2002-2024 闂傚倸鍊搁崐鎼佸磹閹间礁纾瑰瀣捣閻棗銆掑锝呬壕濡ょ姷鍋為悧鐘汇€侀弴銏℃櫆闁芥ê顦純鏇熺節閻㈤潧孝闁挎洏鍊濋幃褔宕卞▎鎴犵劶闂佸壊鍋嗛崰鎾剁不妤e啯鐓欓悗娑欋缚閹冲啴鏌h箛锝勯偗闁哄本绋撻埀顒婄秵閸撴瑩寮搁幋锔界厪闁搞儜鍐句純閻庢鍠曠划娆愪繆濮濆矈妲鹃梺缁樻尭閸婅崵妲愰幒鎾卞亝闁告劦浜為弳顐ょ磽娴e搫校闁绘濮撮锝嗙節濮橆厼浜滈柣鐐寸▓閳ь剙鍘栨竟鏇㈡⒑濮瑰洤鐏繛鍛劦閹兘鎮ч崼鐔烘闂傚倸鍊搁崐鐑芥嚄閸洏鈧焦绻濋崶椋庣◤婵犮垼娉涢埊鏇灻洪鍛簻闂佺粯鎸稿ù鐑芥偩閸濆嫧鏀介幒鎶藉磹閺囥垹绠犻幖娣妼缁犳煡鏌ら崫銉ヤ化濞存粍绮撻弻鐔煎箲閹邦厾銆愭繛瀵稿У鐢偟妲愰幒妤婃晩闁兼祴鏅涢悡鐔封攽椤旂》榫氭繛鍜冪秮楠炲繘鎮╃拠鑼紜闂佹儳娴氶崑鍡樼閼哥數绡€闁汇垽娼ф禒鈺呮倶韫囨梻鎳囩€规洑鍗冲鍊燁檨闁搞倖娲橀妵鍕箛閳轰胶鍔撮梺鍛婅壘椤戝懘鈥︾捄銊﹀磯濞撴凹鍨伴崜鍗炩攽閻愬弶鍣烽柛銊ㄦ椤繘鎼圭憴鍕/闂侀潧枪閸庢煡鎮甸姀銈嗏拺闁荤喐婢樺▓鈺呮煙閸戙倖瀚�闂傚倸鍊搁崐鎼佸磹閹间礁纾归柟闂寸绾惧綊鏌i幋锝呅撻柛銈呭閺屾盯顢曢敐鍡欘槬缂佺偓鍎抽…鐑藉蓟閻旂厧绠查柟閭﹀墰閸橆偊鎮楃憴鍕闁绘搫绻濆璇测槈閵忊晜鏅濋梺闈涚墕閹冲繘鎮樻担鍓叉富闁靛牆鍊瑰▍鍡涙煟閹垮嫮绡€鐎殿喛顕ч埥澶愬閻樻鍟嬫繝寰锋澘鈧劙宕戦幘缁樼厵闁惧浚鍋勬慨宥夋煛娴e摜效闁诡喗鐟╅幃婊兾熼柨瀣伖闂備浇宕垫慨鍨娴犲绀夐悘鐐缎掗弸宥夋煙閹殿喖顣奸柣鎾寸懇閺屾盯骞嬪▎蹇婂亾閺嶎偀鍋撳鐐濠电姷鏁告慨鐑藉极閸涘﹥鍙忛柣鎴f閺嬩線鏌熼梻瀵割槮缁惧墽绮换娑㈠箣濞嗗繒浠鹃梺绋款儍閸婃繈寮婚弴鐔虹闁绘劦鍓氬鎺楁⒑闁偛鑻晶鍓х磼閻樿櫕宕岀€殿噮鍋婇獮妯肩磼濡粯顏熼梻浣芥硶閸o箓骞忛敓锟�2-20060159