等离子体增强化学气相沉积法。
设备介绍: 本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
产品简介:此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
主要组成系统及特点:
本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy和无定型硅(a-Si:H)等。
开启式真空管式炉技术参数 |
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石英管尺寸 |
L1400mm *(根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。) |
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加热元件 |
掺钼铁铬铝合金电阻丝 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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加热区长度 |
400mm |
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恒温区长度 |
200mm |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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控温模式 |
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶启动紧急信号功能 |
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控温精度 |
±1℃ |
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升温速率 |
≤20℃/min |
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电功率 |
AC220V/50HZ/3KW |
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质量供气系统技术参数(根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。) |
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外形尺寸 |
600x600x600mm |
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标准量程 |
50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2); |
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数显压力表测量范围 |
-0.1Mpa~0.15Mpa |
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较限压力 |
3MPa |
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针阀 |
316不锈钢 |
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截止阀 |
Φ6mm 316不锈钢针阀 |
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电功率 |
AC220V/50HZ/20W |
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响应时间 |
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec |
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准确度 |
±1.5% |
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线性 |
±0.5~1.5% |
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重复精度 |
±0.2% |
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接口 |
Φ6,1/4 |
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真空系统技术参数(根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(较限真空0.1Pa),GZK10-3(较限真空0.001Pa),以及进口高真空机组(较限真空0.0001Pa)供选择。) |
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外型尺寸 |
600×600×600mm |
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工作电电压 |
220V±10% 50~60HZ |
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功率 |
400W |
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抽气速率 |
4L\s |
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较限真空 |
4X10-2Pa |
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实验真空度 |
1.0X10-1Pa |
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容油量 |
1.1L |
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进气口口径 |
KF25 |
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排气口口径 |
KF25 |
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转速 |
1450rpm |
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射频电源(根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或更大功率的射频电源供选择) |
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信号频率 |
13.56 MHz±0.005% |
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功率输出范围 |
5-300W 5W-500W可选 |
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非常大反射功率 |
200W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ |
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整机效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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