产品描述
| SK-G04143 | SK-G05143 | SK-G06143 | SK-G08143 | ||
| 进口程序 | SK-G04145 | SK-G05145 | SK-G06145 | SK-G08145 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 温度 | 1400℃ | ||||
| 加热区长度 | 200mm | 400mm | |||
| 恒温区长度 | 70mm | 140mm | |||
| 加热元件 | 硅碳棒 | ||||
| 空炉升温时间 | <30min | ||||
| 额定功率 | 2.5Kw | 5Kw | |||
| 额定电压 | 220V | ||||
| 温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制；进口程序控温系统可编辑40段程序控制； | ||||
| 控温精度 | ±1℃ | ||||
|
石英管尺寸(mm) |
Φ40/32x800 | Φ50/42x800 | Φ60/50x1000 | Φ80/70x1000 | |
| 炉管材料 | 刚玉管 | ||||
|
炉管工作温度 |
＜1300℃ | ||||
| 配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min | ||||
| 真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统； | ||||
| 气路控制系统：气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统； | |||||
| 计算机集散控制系统； CVD电炉系统； | |||||
| 外形尺寸(深x宽x高) | 315x440x539mm | 400x614x653mm | |||
| 重量 | 60Kg | 85Kg | |||
| 标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表)，刚玉管一支，刚玉堵塞两个，钩子一把 | ||||
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