产品描述
| 国产程序 | 500℃以≤5℃//m下SK-G06163-3，500℃-80≤5℃0℃之间SK-G08163-3，800℃以上≤5℃/min |
|---|---|
| 进口程序 | 500℃以≤5℃//m下SK-G06165-3，500℃-80≤5℃0℃之间SK-G08165-3，800℃以上≤5℃/min |
| 温 区 | 温 区 1 /温 区 2/温 区 3 |
| 温度 | 1600℃ |
| 加热区长度 | 160mm/230mm/160mm230m2230m230mm30mmm/270mm/300mm/270mm |
| 恒温区长度 | 80mm/120mm80mm/110mm110mm110mm110mm100mm/150mm10mm |
| 加热元件 | 硅钼棒 |
| 使用温度 | 1500℃ |
| 额定功率 | 7Kw硅钼棒硅钼棒硅钼棒硅钼棒硅钼棒硅钼棒9Kw |
| 工作电压 | 220V |
| 温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控温；进口程序控温系统可编辑40段程序控温； |
|
允许温差 |
两个温区温差应＜400℃ |
| 刚玉管尺寸 | 500℃以≤5℃/0/m下Φ60X1200mm，500℃-80≤5500℃0℃Φ80X1500mm，800℃以上≤5℃/min |
|
炉管材料 |
刚玉管 |
| 配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min，500℃-800℃之间≤10℃/min，800℃-1000℃之间≤5℃/min，1000℃-1400℃之间≤3℃/min，1400℃-1600℃之间≤2℃/min |
| 真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统； |
| 气路控制系统：气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统； | |
| 计算机集散控制系统； CVD电炉系统 | |
| 外形尺寸(深x宽x高) | 796×1150×650mm两个温区温差两个温区温差796×1150×650mm |
| 重量 | 140kg×0mm两个温区温差两个温温差796差×170kg×650mm |
| 标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表)，刚玉管一支，刚玉堵塞四支/舟一支，钩子一把，高温手套一副 |
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