SK-G05163 | SK-G06163 | SK-G08163 | SK-G10163 | ||
进口程序 | SK-G05165 | SK-G06165 | SK-G08165 | SK-G10165 | |
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温度 | 1700℃ | ||||
加热区长度 | 260mm | ||||
恒温区长度 | 130mm | ||||
加热元件 | 硅钼棒 | ||||
空炉升温时间 | <40min | ||||
额定功率 | 4Kw | ||||
额定电压 | 220V | ||||
温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑4段程序控制; | ||||
控温精度 | ±1℃ | ||||
石英管尺寸(mm) |
Φ50/40x1000 | Φ60/50x1000 | Φ80/70x1000 | Φ100/90x1000 | |
炉管材料 | 刚玉管 | ||||
炉管工作温度 |
<1600℃ | ||||
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1400℃≤3℃/min;1400-1600℃≤2℃/min | ||||
真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统; | ||||
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统; | |||||
计算机集散控制系统; CVD电炉系统; | |||||
外形尺寸(深x宽x高) | 520x600x803mm | ||||
重量 | 145Kg | ||||
标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表),刚玉管一支,刚玉堵塞四支/舟一支,钩子一把,高温手套 |
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