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主营:扩散炉,氧化扩散炉,链式烧结炉,管式真空炉,真空烧结炉,氢气还原炉,led合金炉,soft

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  • 供应程控扩散炉
    供应程控扩散炉

    程控扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工的硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。程控扩散炉技术指标:u可处理硅片尺寸:2—12英寸u

    2013-09-17 50000/台