主营:扩散炉,氧化扩散炉,链式烧结炉,管式真空炉,真空烧结炉,氢气还原炉,led合金炉,soft
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单价:1 元
供应扩散炉
单价:50000 元
供应程控扩散炉
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扩散/氧化系统是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。其组成有:加热炉(扩散炉主机)、净化工作台、送片系统(推拉舟系统)、气源系统、控制系统等。1、全中文操作界面,可编辑参数,操作简便。2、可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置
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