SK-G03123K | SK-G04123K | SK-G05123K | SK-G06123K | SK-G08123K | SK-G10123K | |
进口程序 | SK-G03125K | SK-G04125K | SK-G05125K | SK-G06125K | SK-G08125K | SK-G10125K |
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温度 | 1200℃ | 1200℃ | ||||
加热区长度 | 210mm | 420mm | ||||
恒温区长度 | 70mm | 200mm | ||||
加热元件 | 高电阻优质合金丝OCr27Al7Mo2 | 高电阻优质合金丝OCr27Al7Mo2 | ||||
空炉升温时间 | <15min | <15min | ||||
额定功率 | 1.2Kw | 2.5Kw | ||||
工作电压 | 220V | 220V | ||||
温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑40段程序控制; | |||||
控温精度 | ±1℃ | ±1℃ | ||||
石英管尺寸(mm) |
Φ30/24x800 | Φ40/34x800 | Φ50/43x1000 | Φ60/53x1000 | Φ80/72x1000 | Φ100/92x1000 |
炉管材料 | 石英玻璃管 | 石英玻璃管 | ||||
炉管工作温度 |
<1200℃ | <1200℃ | ||||
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | |||||
真空/气氛总成配套 (可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统; | |||||
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统; | ||||||
计算机集散控制系统; CVD电炉系统; | ||||||
外形尺寸(深x宽x高) | 290x400x479mm | 400x614x623mm | ||||
重量 | 35Kg | 75Kg | ||||
标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表),石英管一支,石英堵塞两支/舟一支,钩子一把,高温手套一副 |
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