产品描述
TF1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统
产品简介：此款设备配有Plasma实现等离子增强，滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置，可准确的控制反应腔体内部的气体压力，带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用，工艺重复性好，对于石墨烯生长工艺非常合适，也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
主要功能和特点：
1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相；
2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量；
3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率；
4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。
滑轨管式炉技术参数 | |||||
| 石英管尺寸 | L1400mm Φ（60、80、100） | |||
加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝 | ||||
测温元件 | K型热电偶 | ||||
加热区长度 | 410mm | ||||
恒温区长度 | 200mm | ||||
工作温度 | ≤1100℃ | ||||
控温模式 | 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶启动紧急信号功能 | ||||
控温精度 | ?1℃ | ||||
升温速率 | ≤20℃/min | ||||
电功率 | AC220V/50HZ/3KW | ||||
质量供气系统技术参数 | |||||
| 外形尺寸 | 600x600x600mm | |||
标准量程 | 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； | ||||
压力表测量范围 | -0.1Mpa～0.15Mpa | ||||
较限压力 | 3MPa | ||||
针阀 | 316不锈钢 | ||||
截止阀 | Φ6mm 316不锈钢针阀 | ||||
电功率 | AC220V/50HZ/20W | ||||
响应时间 | 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec | ||||
准确度 | ?1.5% | ||||
线性 | ?0.5～1.5% | ||||
重复精度 | ?0.2% | ||||
接口 | Φ6,1/4'' | ||||
真空系统技术参数 | |||||
| 外型尺寸 | 600?600?600mm | |||
工作电电压 | 220V?10% 50~60HZ | ||||
功率 | 400W | ||||
抽气速率 | 4L\s | ||||
较限真空 | 4X10-2Pa | ||||
实验真空度 | 1.0X10-1Pa | ||||
容油量 | 1.1L | ||||
进气口口径 | KF25 | ||||
排气口口径 | KF25 | ||||
转速 | 1450rpm | ||||
射频电源 | |||||
| 信号频率 | 13.56 MHz?0.005% | |||
功率输出范围 | 3W-300W 5W-500W可选 | ||||
非常大反射功率 | 200W | ||||
射频输出接口 | 50 Ω, N-type, female | ||||
功率稳定度 | ?0.1% | ||||
谐波分量 | ≤-50dbc | ||||
供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ | ||||
整机效率 | >=70% | ||||
功率因素 | >=90% | ||||
冷却方式 | 强制风冷 | ||||
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