产品描述
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KRI 线性霍尔离子源 eH Linear
上海伯东代理国外进口进口 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现较佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.
霍尔离子源 eH 400 尺寸
尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 高等
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 农业生产体系前体
KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数
|
型号 |
eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5 |
|
供电 |
DC magnetic confinement |
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- 电压 |
40-200V VDC |
|
- 阳极结构 |
模块化 |
|
电源控制 |
eHL-30010A |
|
配置 |
- |
|
- 阴极中和器 |
Filamentless |
|
- 离子束发散角度 |
> 45° (hwhm) |
|
- 阳极 |
标准或 Grooved |
|
- 底座 |
移动或快接法兰 |
|
- 高度 |
10 cm |
|
宽度 |
10 cm |
|
- 长度 |
~ 100cm |
|
-工艺气体 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others |
|
Model |
eHL 200-3 |
eHL 200-5 |
|
Height (nominal) |
2.9” (7.4cm) |
2.9” (7.4cm) |
|
Width (nominal) |
3.3” (8.4cm) |
3.3” (8.4cm) |
|
Length (nominal) |
Determined by number of modules & application |
Determined by number of modules & application |
|
Cathode/Neutralizer |
Yes |
Yes |
|
Anode module |
Yes |
Yes |
|
Filamentless |
Yes |
Yes |
|
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Process gases |
Inert, reactive, & organic |
Inert, reactive, & organic |
|
Power cooller |
eH Plasma Power Pack |
eH Plasma Power Pack
|
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