伯东企业(上海)有限公司

已认证 天眼查

主营:单双级旋片泵,干泵,罗茨泵,涡轮分子泵,真空测量,检漏仪,cti,低温

铝道网  >  铝设备 >  铝板带箔精整设备  > 表面处理设备  > KRI 霍尔离子源 eH 2000

KRI 霍尔离子源 eH 2000

价格

面议

  • 单价:电议
  • 最小起订量: 1
  • 所在地:上海 上海
  • 供货总量: 1000
  • 发布时间:2023-12-13

联系方式

产品描述

因产品配置不同,价格货期需要电议,图片仅供参考,一切以实际成交合同为准。

KRI 霍尔离子源 eH 2000
上海伯东代理国外进口进口 KRI 霍尔离子源 eH 2000 是一款更强大的版本, 带有水冷方式, 他具备 eH 1000 所有的性能, 低成本设计提供高离子电流, 特别适合大中型真空系统. 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.
尺寸: 直径= 5.7“ 高= 5.5”
放电电压 / 电流: 50-300V / 10A 或 1高等
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 农业生产体系前体

KRI 霍尔离子源 eH 2000 特性
• 水冷 - 与 eh 1000 对比, 提供更高的离子输出电流
• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 较大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
• 宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
• 多用途 - 适用于 Load lock / 非常高真空系统; 安装方便
• **的等离子转换和稳定的功率控制

KRI 霍尔离子源 eH 2000 技术参数

型号

eH 2000 / eH 2000L / eH 2000x02/ eH 2000 LEHO

供电

DC magnetic confinement

  - 电压

40-300V VDC

  - 离子源直径

~ 5 cm

  - 阳极结构

模块化

电源控制

eHx-30010A

配置

-

  - 阴极中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

  - 离子束发散角度

> 45° (hwhm)

  - 阳极

标准或 Grooved

  - 水冷

前板水冷

  - 底座

移动或快接法兰

  - 高度

4.0

  - 直径

5.7

  - 加工材料

金属
电介质
半导体

  - 工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

  - 安装距离

16-45”

  - 自动控制

控制4种气体

  • 可选: 可调角度的支架; Sidewinder

    KRI 霍尔离子源 eH2000 应用领域
    •  离子辅助镀膜 IAD
    •  预清洗 Load lock preclean
    •  预清洗 In-situ preclean
    •  Direct Deposition
    •  Surface Modification
    •  Low-energy etching
    •  III-V Semiconductors
    •  Polymer Substrates

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项****. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   宝岛伯东: 王小姐
T: 86-21-5046-3511 ext 108              T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1322                            F: 886-3-567-0049
M: 86 ***请点击商铺导航 联系我们*** ( 微信同号 )      M: 886-939-653-958
qq: 2821409400 
 


现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1***请点击商铺导航 联系我们***
上海伯东版权所有, 翻拷必究!

相关推荐

相关推荐

免责申明:以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,铝道网对此不承担任何保证责任。为保障您的利益,我们建议您选择铝道网的 铝业通会员。友情提醒:请新老用户加强对信息真实性及其发布者身份与资质的甄别,避免引起不必要

风险提示:创业有风险,投资需谨慎。打击招商诈骗,创建诚信平台。维权举报:0571-89937588。

联系方式

张婷婷

在线联系

手 机:点击查看

电 话:点击查看

传 真:点击查看

地 址:

供应产品分类

新品上市