考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes_表面处理设备-伯东企业（上海）有限公司

考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes

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发布时间：2023-12-13

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离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.

离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号

Model	HFx	SHC1000	DSHC1000
Cathode	Yes	Yes	Yes
Neutralizer	Yes	Yes	Yes
Orientation	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal
Regulation	Emission	Emission	Emission
Operational gas	None	Inert	Inert
Process gases	Inert & reactive	Inert & reactive	Inert & reactive
Power Cooller	FC100x	e- Mission Power Pack	e- Mission Power Pack

Model	MHC1000	LHC1000
Cathode	Yes	Yes
Neutralizer	Yes	Yes
Orientation	Vertical / Horizontal	Vertical / Horizontal
Regulation	Emission	Emission
Operational gas	Inert	Inert
Process gases	Inert & reactive	Inert & reactive
Power Cooller	e- Mission Power Pack	e- Mission Power Pack

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项****. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

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