产品描述
详细说明
双工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件烧结焊接等工艺
设备参数： ★真空室工位数：13位
★真空度：1x103Pa，加扩散泵为5x106Pa ★工作温度：1000℃
★充气的压强：0.5Mpa（可控） ★不锈钢内胆：&Phi150&Phi350x1300
★横温区：6001200mm±1oC ★控温方式：三点三段采用进口日本高精度控温器
★控温曲线：9段升降温999小时 ★工作方式：自动或手动自由转换
★单点精度：±10℃24h ★正压、负压均采用数字显示表
★双工位交替工作，行走X、Y方
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- 青岛育豪微电子设备有限公司
- 经营模式：制造商
- 主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
- 地区：山东 青岛
