产品描述
◆工作温度： 300~1200℃
◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度： 920mm1350mm（可根据用户要求定制）
◆温区精度 (静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃
300℃&le工作温度&le600℃： ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃24h
300℃&le工作温度&le600℃： ±1℃24h
◆温度斜变能力：
可控升温速度(300～1300℃)：15℃min
降温速度(1300～900℃)： 5℃min
◆气体流量设定精度： ±0.5％FS
◆气路系统气密性： 1×107pa.m3s
◆自动送料装置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mmmin，SiC浆承重 20kg
◆装片数量 400片管
◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）
◆三相五线制 380V±10，50Hz±10Hz；
◆冷却水： 2～4Kgfcm2，～8Lmin
太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式 ◆闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。
◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。
◆送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的性。
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- 青岛育豪微电子设备有限公司
- 经营模式：制造商
- 主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
- 地区：山东 青岛
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