青岛育豪微电子设备有限公司

已认证 天眼查

主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备

同类企业
铝道网  >  原辅材料及其他 >  原料及坯料  > 其它  > LPCVD化学相沉积设备
LPCVD化学相沉积设备

LPCVD化学相沉积设备

价格

电议 元/台

  • 单价：电议
  • 最小起订量： 1台
  • 所在地：山东 青岛
  • 供货总量： 10台
  • 发布时间：2016-09-24
在线询价 收 藏

联系方式

基本信息 产品描述 同类产品 我要留言

产品描述

用途：用于半导体器件工艺中氮化硅、二氧化硅、多晶硅的薄膜制备
特点：一次设定自动完成，可另配气柜。真空系统可选配进口机组
主要技术指标：制备3-4吋氮化硅、多晶硅和二氧化硅薄膜；温度：400~900℃；
  恒温区600mm±0.5℃；真空系统机械泵+罗茨泵，配有抽气冷井；
  控温器采用进口5吋触摸屏；通入气体SIH4/NH3/N2;
  进口质量流量计控制；阀门用进口气动阀和减压阀；动作顺序为PLC编程控制；
  薄膜压力控制器加阀闭环控制压强

相关推荐

其他供应

相关推荐

免责申明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，铝道网对此不承担任何保证责任。为保障您的利益，我们建议您选择铝道网的 铝业通会员。友情提醒：请新老用户加强对信息真实性及其发布者身份与资质的甄别，避免引起不必要

风险提示：创业有风险，投资需谨慎。打击招商诈骗，创建诚信平台。维权举报：0571-89937588。

  • 青岛育豪微电子设备有限公司
  • 经营模式：制造商
  • 主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
  • 地区：山东 青岛

联系方式

陈庆建经理

在线联系

手 机：点击查看

电 话：点击查看

传 真：点击查看

地 址：

供应产品分类

新品上市

  • 1