LED外延片退火炉

 

◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便                  ◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步  ◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                            ◆ 自动运行中可暂停继续运行功能              ◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能              ◆ 智能升降温斜率控制功能 ◆ PID参数自整定功能                  ◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 ◆ 系统故障的检测与报警功能                              ◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能） ◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                 ◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀质量流量控制器） ◆ 停电后断点继续运行功能等等                                 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 
◆ 工作温度：2001000℃（温度小于800℃）
◆控制精度：&le±1.0℃
◆恒温区长度：定制
◆开机重复性：&le±1.0℃
◆冷态真空度：101Pa
◆石英真空室内径：定制
◆控制仪表：日本岛电公司原装进口控温仪
◆环境温度：10~45℃
◆相对湿度：&le85
◆供电电源：三相五线380V±10 50Hz
◆可用气氛：H2，N2  ★可配工艺管数量：1~4管台；        ★工作温度范围：200～1000℃； ★恒温区长度及精度：300～900mm     600~1000℃±0.5℃； ★单点温度稳定性：600～1000℃±0.5℃24h；     ★可控升温速度：15℃min ★降温速度：15℃min